• ABB
    
   
   
  ABB Ltd.  
     
     
  累积百年技术的ABB是工业数字化的龙头领导商之一,在工业设备的数字链接技术领域,持续创下里程碑。ABB在全球以前端技术实现更高效、更安全的生产力。在半导体产业拥有许多丰富的实绩。  
     
  ABB推出的 927S Analyzer雷射气体分析仪主要应用于洁净室AMC的气体监测,此仪器采用LGR-ICOS分析原理对半导体制程及其周遭环境进行监测。927S Analyzer可量测的气体包括HF, HF+HCl……,并且具有量测范围广、耗材需求少、无需频繁校正……等优点,非常适合应用于高科技电子业的洁净室AMC或连续排放监测及其他在线实时连续气体系统等设备。  
     
     
 
产品图 产品型号 产品名称 产品特点
LGR-ICOS 927S

HF , HF+HCl

气体分析仪

  量测项目:HF, HF+HCl……  
  实时量测,反应灵敏  
  可配合多成分分析增加雷射模块  
  最低侦测极限可达30 ppt或更低  
  量测准确,反应速度快,不受其它物种干扰  
  外型轻盈,便于安装  
  机台稳固不意损坏  
  耗材备品少,运转成本低廉  
  可应用于多点采样系统或移动式装置  
 
     
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