洁净室AMC微污染气体监测系统  
     
     
  因应目前电子业制程日益先进精密,洁净室内 AMC气体微污染的影响成为重要的课题,沃亚科技将针对您的需求,提供完整气体微污染监测系统 AMC Monitoring System 监测,系统含系统整合、完善的服务及管理方案,成为您最忠实的工作伙伴。  
       
       
 
  分析监测设备包含NH3, TS/SO2/H2S, HCl/Cl2, HF, Total Acids , O3, VOCs……  
  多点式切换采样系统 ( Manifold ),单点式 ( P.O.U. ) 或移动式 (Mobile Cart)  
  数据收集处理系统 ( DAS ) 及远程数据收集系统 ( SCADA )  
  客制化的专业规划设计服务,便于未来扩充需求  
  依据客户需求,提供现场施工、系统整合测试及相关教育训练  
  提供完善定期及不定期叫修保养维护合约的服务  
 
 

洁净室AMC微污染

气体监测系统

 

 

 
厂牌 产品型号 产品名称  
T108 / T108U
  总硫化物 ( TS ) 气体分析仪  
T100
  二氧化硫 ( SO2 ) 气体分析仪  
T101
  硫化氢 ( H2S ) 气体分析仪  
T201
  氨 ( NH3 ) 气体分析仪  
T400
  臭氧(O3)气体分析仪  
T700/T700U
  动态气体校正器  
T750/T750U
  携带式动态气体校正器  
T701/T701H
  零空气产生器  
751/751H
  携带式零空气产生器  


 

AirSentry II

Analyzer

  Ammonia (NH3) / Amines / TA (Total Acids) / Chlorides  (HCl+CI2 气体分析仪


 

AirSentry II

Calibration Station

  AS II 气体校正设备  

AirSentry II

Mobile Cart

  移动车载式AMC监测设备  
9100 GC-PID
  挥发性有机化合物或总挥发性有机气体分析仪  

Clarus 690

+

TurboMatrix TD/ATD

  挥发性有机化合物暨总有机化合物气体分析仪  
LGR-ICOS 927S
  HF , HF+HCl 气体分析仪

 

★若您有其他量测项目的需求,请与我们联系。