潔淨室AMC微污染氣體監測系統

 

因應目前電子業製程日益先進精密,潔淨室內 AMC氣體微污染的影響成為重要的課題,沃亞科技將針對您的需求,提供完整氣體微污染監測系統 AMC Monitoring System 監測,系統含系統整合、完善的服務及管理方案,成為您最忠實的工作伙伴。

 

沃亞科技提供AMC微污染氣體監測系統包括:

 

   ■   分析監測設備包含NH3, TS/SO2/H2S, HCl/Cl2, HF, Total Acids , O3, VOC’s…

   ■   多點式切換採樣系統(Manifold),單點式(P.O.U)或移動式(Mobile Cart)

   ■   資料收集處理系統(DAS)及遠端資料收集系統(SCADA)

   ■   客製化的專業規劃設計服務,便於未來擴充需求

   ■   依據客戶需求,提供現場施工、系統整合測試及相關教育訓練

   ■   提供完善定期及不定期叫修保養維護合約的服務