PMS ASII離子電泳微量氣體分析儀
  • PMS ASII離子電泳微量氣體分析儀
  • :PMS AS-II IMS Analyzer
  • :Point of Use Ion Mobility Spectrometer (IMS)

​美國PMS公司主要產品為潔淨室AMC氣體微污染監測分析, AS-II AMC氣體分析儀採用IMS (Ion Mobility Spectrometry) 原理可量測低至ppt濃度等級,可提供Ammonia,Amines,TA (Total Acids) , Chlorides (HCl+Cl2)等氣體分析儀以及有相關校正裝置。

 

PMS AS-II AMC產品之應用範圍

安裝監測方式:


■ 潔淨室內環境

■ MAU進、出口應用

■ 循環氣體品質

■ 193nm微顯影製程


■ 黃光、蝕刻製程

■ 光罩傳送盒與晶舟盒

■ 製程設備機台

■ 環境調查或查漏


■ 單點式 (P.O.U, Point of Use)

■ 多點式採樣系統 (Manifold)

■ 移動式車載 (Mobile Cart)

   

 

 

PMS AS-II 產品特點:

■ 量測項目為:NH3, Amines, TA, Chlorides

■ 單點式量測(適用機台內部或需求較高之區域)

■ 搭配多點式採樣系統(適用潔淨室內環境)

■ 最低偵測極限可達70 ppt或更低

■ 量測準確,反應速度快,不受其它物種干擾

■ 外型輕盈,便於安裝

■ 維修頻率低,耗材備品少

■ 單一校正器可使用於多台AS-II分析儀

■ 建立相同的零點/全幅校正標準