潔淨室AMC微污染氣體監測系統

 

因應目前電子業製程日益先進精密,潔淨室內 AMC氣體微污染的影響成為重要的課題,沃亞科技將針對您的需求,提供完整氣體微污染監測系統 AMC Monitoring System 監測,系統含系統整合、完善的服務及管理方案,成為您最忠實的工作伙伴。

 

分析監測設備包含NH3, TS/SO2/H2S, HCl/Cl2, HF, Total Acids , O3, VOCs……
多點式切換採樣系統 ( Manifold ),單點式 ( P.O.U. ) 或移動式 (Mobile Cart)
資料收集處理系統 ( DAS ) 及遠端資料收集系統 ( SCADA )
客製化的專業規劃設計服務,便於未來擴充需求
依據客戶需求,提供現場施工、系統整合測試及相關教育訓練
提供完善定期及不定期叫修保養維護合約的服務

潔淨室AMC微汙染

氣體監測系統

 

 

 

廠牌 型號 功能簡介  
T108 ( U ) 、T101、T201、T700 ( U ) 、T˙750 ( U ) 、T701 ( H ) 、750 ( H ) ……等 量測TS ( Total Sulfur ) 、NH3或O3氣體分析儀及相關校正設備
Air-Sentry II 量測包含Ammonia、Amines、TA (  Total Acids ) 、Chlorides ( HCI+CI2 ) 等氣體分析儀及相關校正裝置
Series 9100 可量測單一或多種氣體物種

Clarus 690

具快速加熱與冷卻的優越效能,可縮短儀器分析週期,提升作業效率。
LGR-ICOS 927 Series 適合應用於半導體潔淨室的AMC或連續排放監測及其他線上即時連續氣體系統設備等用途