潔淨室AMC微污染氣體監測系統  
     
     
  因應目前電子業製程日益先進精密,潔淨室內 AMC氣體微污染的影響成為重要的課題,沃亞科技將針對您的需求,提供完整氣體微污染監測系統 AMC Monitoring System 監測,系統含系統整合、完善的服務及管理方案,成為您最忠實的工作伙伴。  
       
       
 
  分析監測設備包含NH3, TS/SO2/H2S, HCl/Cl2, HF, Total Acids , O3, VOCs……  
  多點式切換採樣系統 ( Manifold ),單點式 ( P.O.U. ) 或移動式 (Mobile Cart)  
  資料收集處理系統 ( DAS ) 及遠端資料收集系統 ( SCADA )  
  客製化的專業規劃設計服務,便於未來擴充需求  
  依據客戶需求,提供現場施工、系統整合測試及相關教育訓練  
  提供完善定期及不定期叫修保養維護合約的服務  
 
 

潔淨室AMC微汙染

氣體監測系統

   

 

 

 
廠牌 產品 簡介  

 氣體分析儀

 校正設備

 零空氣產生器

量測TS ( Total Sulfur ) 、NH3或O3……等氣體。

 氣體分析儀

 校正設備

 零空氣產生器

量測包含Ammonia、Amines、TA (  Total Acids ) 、Chlorides ( HCI+CI2 ) ……等氣體。
 氣體分析儀 可量測單一或多種氣體。

 氣相層析儀

具快速加熱與冷卻的優越效能,可縮短儀器分析週期,提升作業效率。
 氣體分析儀 適合應用於半導體潔淨室的AMC或連續排放監測及其他線上即時連續氣體系統設備等用途