• T700/T700U-動態稀釋校正器
 
     
     

  T700/T700U 動態稀釋校正器 

 
     
     
   
     
 

產品介紹:

 
     
 
T700動態稀釋校正器將氣體分析儀與標準氣體結合,提供多點和零點校正標準,可使用多達4種氣體。
 
 

 

 
 

產品特點:

   
針對ppb或ppt等級進行校正
4組校正氣體入口,1組稀釋零空氣入口
提供標準氣體輸出
稀釋校正倍率可達200倍或更大,可設定
可設定現場QA/QC校正或遠端校正
內建O3產生器
 

產品應用範圍:

   
潔淨室內部環境及循環氣體品質
MAU進/出口監測應用
黃光、蝕刻製程或其他製程設備機台
光罩傳送盒與晶舟盒
環境調查或查漏

 

 
         
 

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