• T701/T701H-零空氣產生器
 
 

T701/T701H

零空氣產生器

 
 
 

產品介紹:

 
T701/T701 ( U ) 系列的零空氣產生器完全可取代氣體鋼瓶,獨立產生潔淨乾燥的零空氣氣源,提供T700系列動態稀釋校正器進行校正使用。

 

產品特點:

   
長效型的SO2/NO/NO2/O3/H2S和NH3的去除器
具露點溫度指示裝置
有自動排水之功能
可為FID提供燃燒空氣氣源
提供純淨之零空氣以供稀釋校正使用
 

產品應用範圍:

   
潔淨室內部環境及循環氣體品質
MAU進/出口監測應用
黃光、蝕刻製程或其他製程設備機台
光罩傳送盒與晶舟盒
環境調查或查漏

 

     
     
     

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