潔淨室AMC微污染氣體監測系統  
     
     
  因應目前電子業製程日益先進精密,潔淨室內 AMC氣體微污染的影響成為重要的課題,沃亞科技將針對您的需求,提供完整氣體微污染監測系統 AMC Monitoring System 監測,系統含系統整合、完善的服務及管理方案,成為您最忠實的工作伙伴。  
       
       
 
  分析監測設備包含NH3, TS/SO2/H2S, HCl/Cl2, HF, Total Acids , O3, VOCs……  
  多點式切換採樣系統 ( Manifold ),單點式 ( P.O.U. ) 或移動式 (Mobile Cart)  
  資料收集處理系統 ( DAS ) 及遠端資料收集系統 ( SCADA )  
  客製化的專業規劃設計服務,便於未來擴充需求  
  依據客戶需求,提供現場施工、系統整合測試及相關教育訓練  
  提供完善定期及不定期叫修保養維護合約的服務  
 
 

潔淨室AMC微汙染

氣體監測系統

 

 

 
廠牌 產品型號 產品名稱  
T108 / T108U
  總硫化物 ( TS ) 氣體分析儀  
T100
  二氧化硫 ( SO2 ) 氣體分析儀  
T101
  硫化氫 ( H2S ) 氣體分析儀  
T201
  氨 ( NH3 ) 氣體分析儀  
T400
  臭氧(O3)氣體分析儀  
T700/T700U
  動態氣體校正器  
T750/T750U
  攜帶式動態氣體校正器  
T701/T701H
  零空氣產生器  
751/751H
  攜帶式零空氣產生器  


 

AirSentry II

Analyzer

  Ammonia (NH3) / Amines / TA (Total Acids) / Chlorides  (HCl+CI2 氣體分析儀


 

AirSentry II

Calibration Station

  AS II 氣體校正設備  

AirSentry II

Mobile Cart

  移動車載式AMC監測設備  
9100 GC-PID
  揮發性有機化合物或總揮發性有機氣體分析儀  

Clarus 690

+

TurboMatrix TD/ATD

  揮發性有機化合物暨總有機化合物氣體分析儀  
LGR-ICOS 927S
  HF , HF+HCl 氣體分析儀

 

★若您有其他量測項目的需求,請與我們聯繫。