• HF 氣體分析儀

美國PICARRO公司Model G2205 HF Gas Analyzer,採用腔體衰減光譜法CRDS (Cavity Ring Down Spectrometry) 原理,其HF的量測可達ppt濃度等級,其反應時間極為快速,可使用於環境中微汙染之量測。


 

Picarro G2205 HF 產品之應用範圍:

安裝監測方式:

■ 潔淨室內環境

■ 193nm微顯影製程

■ 環境調查或查漏

■ 光罩傳送盒與晶舟盒

■ 製程設備機台

■ 單點式 (P.O.U, Point of Use)

■ 多點式採樣系統 (Manifold)

■ 移動式車載 (Mobile Cart)

 

 

Picarro G2205 HF產品特點:


■ 即時量測,反應相當靈敏

■ 光學腔體之量測光徑可達20 km

■ 最低偵測極限可達30 ppt或更低

■ 量測準確,反應速度快,不受其它物種干擾

■ 外型輕盈,便於安裝

■ 維修頻率低,耗材備品少

 

Picarro G2205 HF應用/監測方式:

■單點式量測

  -適用機台內部或要求等級較高之區域

■多點式採樣系統

   -4, 8, 12, 16, …32等多點式採樣系統

    依現場需求設計

   -可為現場或遠瑞操作控制方式,提昇

    人員操作之便利性

   -結合各式分析監測設備,系統功能具

    彈性設計,操作簡單易學

   -搭配各種 I/O 模組及各式傳輸介面,

    便於系統整合

   -客製化的服務,未來擴充便利

■移動式車載設計

  -可在潔淨室大環境區域做監測採樣調查

  -可立即監測巡查潛在或既有之洩露源

  -具移動時監測功能,亦可依需求定點量測

  -可採用內建UPS電源或固定電源

  -即時數據及歷史性數據顯示

  -標準的輸出格式便於數據傳送及處理