• FAST晶圓運送盒微污染氣體監測系統

無塵室生產技術現已提升至奈米製程階段,精密製程首重微污染氣體偵測及監控。 FAST晶圓運送盒微污染氣體監測系統能夠協助提高製程良率,避免晶圓於運送過程中交叉污染、造成損失。 不論酸性、鹼性、或凝結性有機污染物(Molecular Acid, Base, 或 Condensable) FAST都可依配合客戶需求規劃,未來亦可依量測更多物種之需求進行擴充

 

 

FAST POD Analyzer 產品特點:


■ 可即時偵測及監控 sub-ppb 極低濃度之微污染

■ 客製化資料收集處理系統

■ 可搭配預警及系統防呆功能

■ 由專業技術人員提供完善定期維護服務及保固

■ 體積小不佔用生產設備坪效

■ 分析監測設備測項可客製調整

■ Load Port自動化裝載運送

■ 採用SECS通訊協定

■ 可搭配FOUP自動感知晶圓運送盒裝載狀態

■ OHT系統適用

■ 具有 FOUP RFID 辨識功能

■ 其他可增加量測氣體種類TS, SO2, Chlorides, HF…or VOC’s