PMS ASII移動式離子電泳微量氣體分析儀
  • PMS ASII移動式離子電泳微量氣體分析儀

​美國PMS公司主要產品為潔淨室AMC氣體微污染監測分析, AS-II AMC氣體分析儀採用IMS (Ion Mobility Spectrometry) 原理可量測低至ppt濃度等級,可提供Ammonia,Amines,TA (Total Acids) , Chlorides (HCl+Cl2)等氣體分析儀以及有相關校正裝置。

 

PMS AS-II AMC產品之應用範圍

安裝監測方式:


■ 潔淨室內環境

■ MAU進、出口應用

■ 循環氣體品質

■ 193nm微顯影製程


■ 黃光、蝕刻製程

■ 光罩傳送盒與晶舟盒

■ 製程設備機台

■ 環境調查或查漏


■ 單點式 (P.O.U, Point of Use)

■ 多點式採樣系統 (Manifold)

■ 移動式車載 (Mobile Cart)

   

 

PMS AS-II Mobile cart產品特點:


■ 移動式車載設計,可搭配1-3台AS-II分析儀使用

■ 可在潔淨室大環境區域做監測採樣調查

■ 可立即監測巡查潛在或既有之洩露源

■ 具零空氧供應裝置,可供量測及校正用

■ 具移動時監測功能,亦可依需求定點量測

■ 可採用內建UPS電源或固定電源

■ 具觸控式電腦便於數據儲存及傳送

■ 即時數據及歷史性數據顯示