排氣管道VOC-CEMS連續監測系統

 

【半導體製造業空氣污染管制及排放標準】

【光電材料及元件製造業空氣污染管制及排放標準 】

【公私場所固定汙染源揮發性有機物監測設施性能規範參考原則 】

 

  沃亞科技提供完整且符合法規要求之VOC-CEMS連續監測系統:

 

 ■ 分析監測設備 (Non-Methane/Methane/THC Analyzer,Flow Monitor)

 ■ 完全符合現行並因應未來法規各項要求

 ■ 相關輔助設備 (H2產生器、零空氣供應裝置…等)

 ■ 單點或多點式切換採樣系統及A/B閥每日零點/全幅偏移檢查功能

 ■ 風速計自動零點全幅偏移測試模組

 ■ 排放流速每日自動零點全幅偏移測試模組 (微壓式)

 ■ 煙囪不透光率分析儀

 ■ 符合現行與未來法規要求且具備操作便利的圖控軟體資料處理及報表自動產生系統

 ■ 提供系統規劃設計、現場施工、系統整合測試及相關教育訓練

 ■ 供應充足的備用機台與耗材服務

 ■ 提供完善的售後與定期保養服務

 

~ 絕對符合您高穩定性、高品質的需求 ~

 

 

 主要客戶:

 

 ■ 半導體:台積電/聯電/世界先進/日月光/矽品/華亞/勝高/新唐/穩懋/旺宏/光磊/晶電/ 中美矽晶……

 ■ 光電業:群創/友達/明碁/瀚彩/和鑫/光鋐/奇材/昱晶/聯勝/元晶/國際彩光……

 

 

系統實績超過數百套,提供完整售後和定期維護保養合約服務