Neoplus-Control "Q-MACS"製程環境氣體監測系統

Q-MACS Basic

關鍵組成部分:可控制雷射及周邊元件

Q-MACS Process

高敏度的氣體即時分析

Q-MACS Trace compact

微量氣體偵測及環境監控

Q-MACS Process Fibre

蝕刻設備測量和控制系統

 

特點:

Q-MACS系統應用

  • 氣體偵測極限及偵測範圍:ppm,ppb,或低至sub-ppb(不同應用而定)

  • 工業概述 - 線上即時分析監控

  • 半導體或光電業製程 - 可為製程監測或環境監測
  • Q-MACS多樣化元件與多種監測
  • CxHy,CO,CO2,NO,NO2,N2O,NH3,NF3,BCl3,
    B2H6,SiF4,C4F6,COCl2,PH3,H2O,O3,SO2,OH,HF,
    HCl,OCS,HCN,COF2,H2O2,SF6,SO3,HNO3,CH3CL,
    H2CO,CH3OH and many others

  • 可為單一氣體或多成分氣體監測(最多可達4~6種)

 


絕對符合您高穩定性、高品質的需求