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F.A.ST. 雙埠FOUP內微污染監測系統

產品介紹:
 
無塵室生產技術現已至奈米製程階段,精密製程首重微污染氣體偵測及監控。晶圓運送盒微污染氣體監測能夠協助提高製程良率,避免晶圓於運送過程中交叉污染,造成損失。
 
FAST晶圓運送盒微污染液體監測系統能即時監控FOUP內微污染狀態,徹底防治微污染造成的可能損失。不論酸性、鹼性、或凝結性有機污染物(Molecular Acid, Base, 或Condensable)FAST都可依配合客戶需求規劃,未來亦可依量測更多物種之需求而擴充。沃亞科技擁有專業認證資格的技術人員,隨時為您提供相關諮詢及服務。  
 
產品特點:
   
分析監測設備靈敏度高,可即時偵測及監控極低濃度之微污染,客製化資料收集處理系統,便於未來資訊傳輸及整合,亦可進行需求擴充
可搭配預警及系統防呆功能
由專業技術人員提供完善定期維護服務及保固
體積小,不佔用生產設備坪效
分析監測設備測項可客製調整
Load Port自動化裝載運送
採用SECS通訊協定
可搭配FOUP自動感知晶圓運送盒裝載狀態
OHT系統適用,其他系統可配合規劃
具有FOUP RFID辨識功能
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