產品介紹
F.A.ST. 雙埠FOUP內微污染監測系統
產品介紹：
無塵室生產技術現已至奈米製程階段，精密製程首重微污染氣體偵測及監控。晶圓運送盒微污染氣體監測能夠協助提高製程良率，避免晶圓於運送過程中交叉污染，造成損失。
FAST晶圓運送盒微污染液體監測系統能即時監控FOUP內微污染狀態，徹底防治微污染造成的可能損失。不論酸性、鹼性、或凝結性有機污染物(Molecular Acid, Base, 或Condensable)FAST都可依配合客戶需求規劃，未來亦可依量測更多物種之需求而擴充。沃亞科技擁有專業認證資格的技術人員，隨時為您提供相關諮詢及服務。
產品特點：
■ 分析監測設備靈敏度高，可即時偵測及監控極低濃度之微污染，客製化資料收集處理系統，便於未來資訊傳輸及整合，亦可進行需求擴充
■ 可搭配預警及系統防呆功能
■ 由專業技術人員提供完善定期維護服務及保固
■ 體積小，不佔用生產設備坪效
■ 分析監測設備測項可客製調整
■ Load Port自動化裝載運送
■ 採用SECS通訊協定
■ 可搭配FOUP自動感知晶圓運送盒裝載狀態
■ OHT系統適用，其他系統可配合規劃
■ 具有FOUP RFID辨識功能