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產品類別

WelTof 潔淨室多點式微污染氣體監測系統

   

WelTof系列是沃亞結合Tofwerk產品，依客戶不同的需求，將產品整合為線上多點式採樣監測系統，提升半導體先進製程與晶圓良率，WelTof名稱取自於Weltall及Tofwerk合作之意。

 

產品特點：
 
■ 全球領先技術，使用質子轉移-飛行時間質譜儀 (PTR-TOF) 技術與獨家專利設計
■ 快速同步測量ppt等級的多種關鍵AMCs
■ 潔淨室多點16CH-192CH系統客製化設計整合
■ 預設常見AMCs數據庫，並可定製或擴充
■ 樣品無需預先採集或處理，直接多點採樣分析
■ 客製化軟體服務，可提供2D/3D軟體，未知物種追溯分析
■ 單機式/移動式/多點式系統等設計，供客戶選擇

 
weltall@woya.com.tw
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