產品介紹
ABB Ltd.
累積百年技術的ABB是工業數位化的龍頭領導商之一，在工業設備的數位連結技術領域，持續創下里程碑。ABB在全球以前端技術實現更高效、更安全的生產力。在半導體產業擁有許多豐富的實績。
ABB推出的OA-ICOS™ GLA231 Analyzer氣體分析儀主要應用於潔淨室AMC的氣體監測，此儀器採用LGR-ICOS分析原理對半導體製程及其週遭環境進行監測。OA-ICOS™ GLA231 Analyzer可量測的氣體包括NH3、HF、HF+HCl…，並且具有量測範圍廣、耗材需求少、無需頻繁校正…等優點，非常適合應用於半導體潔淨室的AMC或連續排放監測及其他線上即時連續氣體系統等設備。
| 產品圖 | 產品型號 | 產品名稱 | 產品特點 | ||||||||||||||||
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OA-ICOS™ GLA231 |
HF、HF+HCl |
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