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ABB Ltd.  
 
累積百年技術的ABB是工業數位化的龍頭領導商之一,在工業設備的數位連結技術領域,持續創下里程碑。ABB在全球以前端技術實現更高效、更安全的生產力。在半導體產業擁有許多豐富的實績。  
   
ABB推出的 927S Analyzer雷射氣體分析儀主要應用於潔淨室AMC的氣體監測,此儀器採用LGR-ICOS分析原理對半導體製程及其周遭環境進行監測。927S Analyzer可量測的氣體包括HF, HF+HCl……,並且具有量測範圍廣、耗材需求少、無需頻繁校正……等優點,非常適合應用於高科技電子業的潔淨室AMC或連續排放監測及其他線上即時連續氣體系統等設備。
 
產品圖 產品型號 產品名稱 產品特點
LGR-ICOS 927S

HF , HF+HCl
氣體分析儀

量測項目:HF, HF+HCl……
即時量測,反應靈敏
可配合多成分分析增加雷射模組
最低偵測極限可達30 ppt或更低
量測準確,反應速度快,不受其它物種干擾
標準尺寸,便於安裝
機台穩固不易損壞
耗材備品少,運轉成本低廉

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