產品介紹
產品類別

潔淨室AMC微污染氣體監測系統

因應目前電子業製程日益先進精密,潔淨室內 AMC氣體微污染的影響成為重要的課題,沃亞科技將針對您的需求,提供完整氣體微污染監測系統 AMC Monitoring System 監測,系統含系統整合、完善的服務及管理方案,成為您最忠實的工作伙伴。
   
分析監測設備包含NH3, TS/SO2/H2S, HCl/Cl2, HF, Total Acids , O3, IPA, Acetone, MeCl2, VOCs……
多點式切換採樣系統 ( Manifold ),單點式 ( P.O.U. ) ,移動式 (Mobile Cart),晶圓傳送盒分析系統(FOUP),自走機器人(AMR)
資料收集處理系統 ( DAS ) 及遠端資料收集系統 ( SCADA )及IoT物聯網無線傳輸系統
客製化的專業規劃設計服務,便於未來擴充需求
依據客戶需求,提供現場施工、系統整合測試及相關教育訓練
提供完善定期及不定期叫修保養維護合約的服務
潔淨室AMC微汙染
氣體監測系統
 

 

廠牌 產品型號 產品名稱
T108  總硫化物 ( TS ) 氣體分析儀
T100  二氧化硫 ( SO2 ) 氣體分析儀
T101  硫化氫 ( H2S ) 氣體分析儀
T201  氨 ( NH3 ) 氣體分析儀
T400  臭氧(O3)氣體分析儀
T700/T700U  動態氣體校正器
T750/T750U  攜帶式動態氣體校正器
T701/T701H  零空氣產生器
751H  攜帶式零空氣產生器
AirSentry II
Analyzer
 Ammonia (NH3) / Amines / TA (Total Acids)
/ Chlorides  (HCl+CI2)  氣體分析儀
AirSentry II
Calibration Station
 AS II 氣體校正設備
AirSentry II
Mobile Cart
 移動車載式AMC監測設備
9100 GC-PID  揮發性有機化合物或總揮發性有機氣體分析儀
Clarus 690
+
TurboMatrix TD/ATD
 揮發性有機化合物或總揮發性有機氣體分析儀
LGR-ICOS 927S  HF , HF+HCl 氣體分析儀

 

Copyright © 2020

沃亞科技

all rights reserved.
瀏覽人數:168536