產品介紹
潔淨室AMC微污染氣體監測系統
因應目前電子業製程日益先進精密,潔淨室內AMC氣體微污染的影響成為重要的課題。沃亞科技將針對您的需求,提供完整氣體微污染監測系統 (AMC Monitoring System),包含系統整合 、完善的服務及管理方案,成為您最忠實的工作伙伴。 | |||||||||||||
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潔淨室AMC微污染 氣體監測系統 |
廠牌 | 產品型號 | 產品名稱 | |||
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T108 | 總硫化物 (TS) 氣體分析儀 | |||
T100 | 二氧化硫 (SO2) 氣體分析儀 | ||||
T101 | 硫化氫 (H2S) 氣體分析儀 | ||||
T201 | 氨 (NH3) 氣體分析儀 | ||||
T400 | 臭氧 (O3) 氣體分析儀 | ||||
T700/T700U | 動態氣體校正器 | ||||
T750/T750U | 攜帶式動態氣體校正器 | ||||
T701/T701H | 零空氣產生器 | ||||
751H | 攜帶式零空氣產生器 | ||||
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AirSentry II Analyzer |
Ammonia (NH3) /Amines/TA (Total Acids) /Chlorides (HCl+CI2) 氣體分析儀 | |||
AirSentry II Calibration Station |
AS II 氣體校正設備 | ||||
AirSentry II Mobile Cart |
移動車載式AMC監測設備 | ||||
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9100 GC-PID | 揮發性有機化合物或總揮發性有機氣體分析儀 | |||
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Clarus 690 + TurboMatrix TD/ATD |
揮發性有機化合物或總揮發性有機氣體分析儀 | |||
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OA-ICOS™ GLA231 |
HF、HF+HCl 氣體分析儀 |