產品介紹
產品類別

潔淨室AMC微污染氣體監測系統

因應目前電子業製程日益先進精密,潔淨室內AMC氣體微污染的影響成為重要的課題。沃亞科技將針對您的需求,提供完整氣體微污染監測系統 (AMC Monitoring System),包含系統整合 、完善的服務及管理方案,成為您最忠實的工作伙伴。
   
分析監測設備包含NH3、TS/SO2/H2S、HCl/Cl2、HF、Total Acids、O3、IPA、Acetone、MeCl2、VOCs……
多點式切換採樣系統 (Manifold),單點式 (P.O.U.),移動式 (Mobile Cart),晶圓傳送盒分析系統 (FOUP),自走機器人 (AMR)
資料收集處理系統 (DAS) 及遠端資料收集系統 (SCADA) 及IoT物聯網無線傳輸系統
客製化的專業規劃設計服務,便於未來擴充需求
依據客戶需求,提供現場施工、系統整合測試及相關教育訓練
提供完善定期及不定期叫修保養維護合約的服務
潔淨室AMC微污染
氣體監測系統
 

 

廠牌 產品型號 產品名稱
 
 Semicon AMC
 微量無機酸/有機酸/氨氣/有機胺/VOCs即時分析儀器

 

T108  總硫化物 (TS) 氣體分析儀
T100  二氧化硫 (SO2) 氣體分析儀
T101  硫化氫 (H2S) 氣體分析儀
T201  氨 (NH3) 氣體分析儀
T400  臭氧 (O3) 氣體分析儀
T700/T700U  動態氣體校正器
T750/T750U  攜帶式動態氣體校正器
T701/T701H  零空氣產生器
751H  攜帶式零空氣產生器
AirSentry II
Analyzer
 Ammonia (NH3) /Amines/TA (Total Acids) /Chlorides (HCl+CI2)   氣體分析儀
AirSentry II
Calibration Station
 AS II 氣體校正設備
AirSentry II
Mobile Cart
 移動車載式AMC監測設備
9100 GC-PID  揮發性有機化合物或總揮發性有機氣體分析儀
Clarus 690
+
TurboMatrix TD/ATD
 揮發性有機化合物或總揮發性有機氣體分析儀

OA-ICOS™ GLA231

 HF、HF+HCl 氣體分析儀

 

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