產品介紹
產品類別

WelTof 潔淨室多點微污染氣體監控系統

   

WelTof系列是沃亞結合Tofwerk產品,依客戶不同的需求,將產品整合為線上多點採樣監控系統,提升半導體先進製程與晶圓良率,WelTof名稱取自於Weltall及Tofwerk合作之意。

 

產品特點:
 
全球領先技術,使用質子轉移-飛行時間質譜儀(PTR-TOF)技術與獨家專利設計
快速同步測量ppt等級的多種關鍵AMCs
潔淨室多點16CH-192CH系統客製化設計整合
預設常見AMCs數據庫,並可定製或擴充
樣品無需預先採集或處理,直接多點採樣分析
客製化軟體服務,可提供2D/3D軟體,未知物種追溯分析
單機式/移動式/多點式系統等設計,供客戶選擇

 

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